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两种主流的OLED工艺——真空热蒸镀和有机气相淀积

   什么是OLED屏幕?OLED的全名为Organic Light-Emitting Diode,中文名为有机发光二极管。它是LED的一种,由美籍华裔教授登青云在实验室中发现。与目前被广泛使用的平板显示器LCD相比,OLED具有主 动发光、高对比度、超轻薄、耐低温、响应速度快、功耗低、视角广、抗震能力强等特点,而且更适合柔性显示和3D显示。具有以上众多优势的OLED显示器, 不存在从侧面看不清楚的问题;也不会有LCD影像残留及画面跳动的情况;不但便宜,而且省电;相对于LCD,颜色更鲜艳,对比更鲜明,而厚度小于2mm的 全彩面板更是只能用OLED才能做到。

两种主流的OLED工艺——真空热蒸镀和有机气相淀积
  OLED与LED的屏幕结构
 
  要想知道OLED为何会有如此多的优点,还要从它的工作原理说起。OLED是如何发光的?OLED的典型结构如图所示,用ITO(氧化铟锡)导 电薄膜做阳极,金属做阴极,中间沉淀一层有机发光材料作为发光层。为了形象的理解,我们可以把它看成一块三明治,下面的一块面包是金属材料,上面的一块面 包是有机透明材料ITO导电膜,把中间的电子传输层和空穴传输层分别看成鸡蛋和香肠,有机发光层是中间的一层面包。
 
两种主流的OLED工艺——真空热蒸镀和有机气相淀积
  OLED的典型结构及发光原理
 
  当OLED接通电源后,金属阴极产生电子,ITO阳极产生空穴,在电场力的做用下,电子穿过电子传输层,空穴穿过空穴传输层,来到有机发光层相 会,电子和空穴分别带正电和负电,它们相互吸引,在吸引力(库仑力)的作用下被束缚在一起,阴阳结合,形成了激子。激子激发发光分子,使得发光分子的能量 提高,处于激发状态,而处于激发状态的分子是不稳定的,它想回到稳定状态,在极短的时间内,它放出能量回到稳定状态,而放出的能量就以光的形式发出,由于 ITO阳极段是透明的,人们就可以看到它发出的光了。电视机屏幕给我们带来视觉盛宴,绝不仅仅只有一个颜色,而颜色的不同是由有机发光层的不同材料所引起 的。
 
  OLED有如此优异的性能,它又是被如何制造出来的呢?这里简要介绍一下这毫厘之间的加工工艺。制备性能良好的有机发光器件需要使用许多复杂的 设备,需要有清洁的环境,如有可能,应尽量在超净实验室或厂房中进行。首先准备好导电和透光性能良好的导电玻璃,通常用的ITO玻璃,并对ITO玻璃进行 光刻,得到高性能的ITO玻璃基片;其次必须对ITO基片进行严格清洗。然后蒸发沉积有机薄膜和阴极;最后对取出的器件做封装测试。其中,蒸发沉积有机薄 膜是关键技术。蒸发沉积有机薄膜的方法有真空热蒸镀法,有机气相沉淀法,旋涂法和喷墨打印法。
 
  真空沉积或真空热蒸发(VTE)
 
  位于真空腔体内的有机物分子会被轻微加热(蒸发),然后这些分子以薄膜的形式凝聚在温度较低的基层上。这一方法适用范围广泛,几乎可以生长所有化合物及合金半导体,非常适合于生长各种异质结构材料,可以生长超薄外延层,并能获得很陡的界面过渡,生长易于控制,可以生长纯度很高的材料,外延层大面积均匀性良好,可以进行大规模生产,但是用于OLED产品效率较低。
 
  真空热蒸镀是小分子OLED的标准淀积工艺。直到现在,寿命最长的OLED都是由真空热蒸镀工艺制成的。正是由于这个原因,今天的小分子 OLED决定了OLED显示器的商业化前景。ITO玻璃基片在被清洗干净后,需要放置在真空腔内的样品托上,对准束源,此时,ITO玻璃片相当于靶子,在 束源中蒸发出来的有机分子就是子弹,这里,子弹不能打在靶子中央,而是要均匀地打在靶子上。这个方法有点像把一块玻璃放到盛有热水的杯子的杯口处,渐渐会 看到玻璃上有一层白雾,不过这里所需要的条件要苛刻得多。
 
两种主流的OLED工艺——真空热蒸镀和有机气相淀积
  真空热蒸镀原理图
 
  在沉积薄膜之前要先获理真空,真空度通常必须高于10-3Pa,如果低于该真空度,真空腔内有一定的空气浓度,会有一些气体分子,当有机分子射 出后,部分有机分子会碰撞到气体分子,如同两个小球相碰,有机分子会被弹开,改变原来的运动路径,从而无法击中ITO玻璃基片。使有机分子沉积到基底上的 速率不均匀,易形成不规则排列,导致缺陷或针孔。与此同时还造成其他麻烦:浪费材料,散射出去的有机分子导致腔体污染,薄膜会有空气分子杂质等。如果需要 更高性能的OLED,就需要超高真空的有机分子束沉积(OMBD)系统,在这种系统中,真空度达到10-6Pa或10-7Pa数量级。但是蒸发热蒸镀由于 受真空腔体尺寸的限制,不能制备大面积的OLED屏幕。
 
  有机气相淀积
 
  OVPD(有机气相沉积)是由德国爱思强公司研发,该工艺设计改进了可生产性,相对于蒸镀技术可以降低制造成本。该技术开一看做是VTE的升级。具有优越的重复性和工艺稳定性以及显著的膜层均匀性和掺杂的精确控制,为高良率批量生产奠定了基础,同时减少了维护和清洁要求,从而降级了材料消耗,具有提高材料利用率的巨大潜力。
 
  OVPD在一个低压热壁反应腔内,载气将蒸发的有机物分子运送到低温基层上,然后有机物分子会凝聚成薄膜状。使用载气能提高效率,并降低OLED的造价。但是,该技术还不能突破大面积玻璃基板和彩色OLED制备的诸多瓶颈。
 
  有机气相淀积可用来淀积高质量的有机薄膜。该方法比蒸发热蒸镀发多了一个喷嘴。在有机气相淀积法中,有机小分子材料置于一个外部单独的、热可控 的容器中,惰性气体携带蒸发的有机分子从一个喷口喷出,喷向喷口下方的ITO玻璃基片,有机分子遇到温度较低的基片后附着其上,渐渐形成薄膜,由于附着在 基片上的分子数量由气体流速、蒸发温度和压强决定,所以通过精确控制这三个参数,可以较好地控制薄膜的厚度。
 
  与真空热蒸镀相比,有机气相淀积可以提供更好的薄膜厚度控制和更大面积下的均匀性。除了提高了器件的性能,材料的可能利用率大于50%,从而减 少了原材料的消耗,使停产期更短,产量更高,这些都是有机气相淀积对于传统真空热蒸镀的重要优势。
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