台积电高管庄子寿表示，5nm工艺目前仍在发展当中，台积电5nm工艺是未来两到三年的目标，预期5nm基地占地40公顷，投资额为几千亿新台币，待台积电董事会通过后就会启动。
5nm制程工艺不仅拥有更好的芯片特性，更使得在生产过程当中更节能环保，与25nm制程工艺相比，5nm工艺制造阶段用电量仅为10%，同时污染总量以及废水排放量也会减少。
目前台积电制程重心在于16nm工艺以及10nm工艺，5nm工艺量产还需三年的时间。
1月19日消息 据联合财经网报道，昨天台积电正式表示，旗下5nm制程工艺基地最快将在今年动工，目标是在2020年实现5nm工艺量产，以拉开与三星和英特尔的制程差距。
