荷兰ASML发布Q2财报:营收25.68亿欧元,EUV光刻机产能大增

在半导体制造过程中,最复杂也是最难的步骤就是光刻,成本能占到整个生产过程的1/3,因此,光刻机成为最重要的半导体制造装备。目前,全球最先进的光刻机就是荷兰ASML公司生产的EUV光刻机,每台售价超过1亿美元,而且供不应求。
   我们知道,在半导体制造过程中,最复杂也是最难的步骤就是光刻,成本能占到整个生产过程的1/3,因此,光刻机成为最重要的半导体制造装备。目前,全球最先进的光刻机就是荷兰ASML公司生产的EUV光刻机,每台售价超过1亿美元,而且供不应求。这就是EUV光刻机如此重要的原因了!
 
  2019年,台积电、三星开始量产7nm EUV工艺产品。而到2020年,5nm开始量产,EUV光刻机或许又面临一次升级。
 
  据驱动之家报道,掌握全球唯一EUV光刻机研发、生产的荷兰ASML(阿斯麦)公司今天发布了2019年Q2季度财报,当季营收25.68亿欧元,其中净设备销售额18.51亿欧元,总计出货了41台光刻机,其中EUV光刻机7台。
 
  在Q2季度中,ASML公司获得了10台EUV光刻机订单,而且这些订单不只是用于逻辑半导体工艺,还首次用于存储芯片——在此之前,三星表示将在未来的内存芯片生产中使用EUV光刻机,ASML的存储芯片订单应该是来自三星了。
 
荷兰ASML发布Q2财报:营收25.68亿欧元,EUV光刻机产能大增
  对于EUV光刻机,目前最主要的问题还是产能不足,ASML现在出售的光刻机型号是NXE:3400B,每小时晶圆产能是150到155wph,不过Q2季度中ASML已经升级到了NXE:3400C型号,产能提升到了170wph,已经有客户做到了每天生产2000片晶圆的水平了。
 
  根据ASML的路线图,未来EUV光刻机的产品还会再有一次提升,每小时晶圆产能最终将达到185wph,不过要等到2021到2022年了。
荷兰ASML发布Q2财报:营收25.68亿欧元,EUV光刻机产能大增
  与现有的光刻机相比,第二代EUV光刻机最大的变化就是High NA(高数值孔径)透镜,而通过提升透镜规格使得新一代光刻机的微缩分辨率、套准精度两大光刻机核心指标提升70%,达到业界对几何式芯片微缩的要求。
 
  而据之前ASML公司公布消息显示,ASML新一代EUV光刻机的量产时间是2024年,尽管最新的报道称下一代EUV光刻机2025年量产,但相比现在的EUV光刻机仅能量产7nm产品的情况下,已经是划时代的进步了。消息显示,在第二代EUV光刻机真正出现时,台积电、三星已经量产3nm工艺,甚至开始进军2nm、1nm产品阶段了。
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