良率问题 GaN-on-Si基板技术发展添变数

据了解,在最新的协议中,普瑞光电将向东芝出售其GaN-on-Si技术和相关资产,未来双方将透过延长的授权与製造关係,增强策略技术合作

    据了解,在最新的协议中,普瑞光电将向东芝出售其GaN-on-Si技术和相关资产,未来双方将透过延长的授权与製造关係,增强策略技术合作。这项资产转移协议相关程序已于5月底顺利完成。

    普瑞光电执行长Brad Bullington表示,普瑞光电与东芝将共同迈向GaN-on-Si基板LED固态照明技术的下一个里程碑,未来普瑞光电仍将致力推动GaN-on-Si技术商用化,不过,于此同时,普瑞光电将持续开发蓝宝石LED基板方桉,以藉此提供客户更高水准及创新服务。

    东芝企业副总裁兼半导体与储存产品执行副总裁Makoto Hideshima认为,与普瑞光电的合作进入新阶段后,东芝就能加快8吋GaN-on-Si LED晶圆的规模化生产,此举将让双方各自的LED业务部门业绩持续成长。不仅如此,东芝获得的GaN-on-Si技术还将为东芝功率元件的开发与生产带来突破。

    针对上述消息,晶元光电研发中心副总裁谢明勳指出,普瑞光电与东芝的合作动态正如同磊晶业界的投资风向球,由于GaN-on-Si技术突破需要一段更长的时间,若就单纯以业界目前的进度而言,至少还需3年才能进入大尺寸基板量产的成熟阶段,因此,此次的消息发布并不让人意外。

    事实上,目前LED照明市场的基板市占仍以蓝宝石基板及碳化硅(SiC)基板为主,而虽然近年GaN-on-Si基板技术亦快速崛起,但目前GaN-on-Si基板除良率外,还有几项挑战待解。

    台积固态照明总经理谭昌琳分析,GaN-on-Si基板刚开始受到关注的原因,即硅材于半导体製程技术已相当成熟,但实际上GaN-on-Si基板在成长过程当中产生的弯曲情形,并无法适用于现有的晶圆平整设备,因此,生产GaN-on-Si基板的设备投资金额几乎等同于投资一家新的8吋厂,而高昂的投资数目遂成为厂商发展踌躇的一大原因。

    不仅如此,现行大尺寸LED磊晶有机金属化学气相沉积(MOCVD)系统的实战经验不足,去年第四季爱思强(AIXTRON)才推出8吋产线版本,而目前12吋版本基本上仍係单片方桉,属于磊晶厂的研发(RD)阶段设备,距离正式运转、大规模商用化还须1?2年测试时间。

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